小型便攜式表面輪廓輪廓儀4D技術(shù)“NanoCam Sq"
傳統(tǒng)的相移干涉儀使用壓電陶瓷元件來移動參考表面并捕獲干涉條紋的圖像。 以計算相位分布。 單次測量至少需要 100 毫秒或更長時間。 在這兩者之間,干涉條紋由于干涉儀和測量樣品之間的相對振動和空氣波動而波動。 這可能會導(dǎo)致測量誤差。 為了防止這種情況,需要光學(xué)面板,隔振裝置,擋風(fēng)玻璃等。 因此,我們別無選擇,只能排除不能采取此類措施的測量目標(biāo)。
4D技術(shù)的動態(tài)干涉儀通過動態(tài)干涉測量解決了這些問題 這是一個革命性的制度。
“動態(tài)干涉測量"不會機(jī)械移動參考平面,單張可捕獲4幅圖像 獲得了羅姆的相移干涉圖像。 對單個相機(jī)的每個像素執(zhí)行相移。 可以持續(xù)收集數(shù)據(jù),測量時間可以減少到30微秒。 因此,在干涉圖像因振動等原因而發(fā)生變化之前,測量在瞬間完成。這使得在振動不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測量,以及測量遠(yuǎn)處的樣品和移動物體成為可能。 可以在固定或腔室中進(jìn)行環(huán)境測試期間測量樣品。
納米攝像頭平方應(yīng)用示例
具有超快干涉測量的表面觀測系統(tǒng) “動態(tài)干涉測量" 4D Technology的“動態(tài)干涉測量"超快干涉測量,具有100微秒標(biāo)準(zhǔn)。 即使在無法避免振動的地方也可以進(jìn)行測量。
輕巧緊湊
的設(shè)計,機(jī)身尺寸約為24×24×8厘米,重量約為4.6公斤。 它非常便攜,可以攜帶在要測量的物體附近進(jìn)行接近測量。
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