iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

發(fā)布日期：2023-09-06      瀏覽次數(shù)：515

iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

在清潔條件至關(guān)重要的半導(dǎo)體和液晶工藝中，不得產(chǎn)生或混合顆粒或污染物。易威奇對此類精細工藝所需的超純水和化學(xué)溶液的傳輸控制技術(shù)充滿信心。
我們利用豐富的經(jīng)驗和專業(yè)知識來滿足從化學(xué)液體輸送應(yīng)用到各種加工應(yīng)用的各種客戶要求。

解決半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域所需的問題

• 粒子

• 在化學(xué)液體轉(zhuǎn)移過程中產(chǎn)生較少顆粒的結(jié)構(gòu)。為超潔凈制造工藝做出貢獻。

• 污染

• 高流量泵提高了從晶圓表面去除金屬和有機污染物的效率。

• 高溫液體輸送

• 最高耐液體溫度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高溫液體輸送的化學(xué)液體。

• 高壓傳輸

• 可提供最大供氣壓力為 0.7 MPa 的泵。支持各種需要高壓放電的工藝。

• 耐用性

• 心臟處的波紋管采用成熟的R型波紋管。可承受高壓放電，壽命長。

• 減少停機時間

• 易于維護的結(jié)構(gòu)無需定期重新擰緊雙頭螺栓。減少停機時間。

• 應(yīng)用領(lǐng)域

• 化學(xué)品供應(yīng)流程詳情

  

• 化學(xué)品供應(yīng)流程

• 泵控制器保持流量和壓力恒定。提供穩(wěn)定的化學(xué)品供應(yīng)。

• 清洗流程細節(jié)

  

• 清洗過程

• 專有的無污染結(jié)構(gòu)最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生。

• 照片處理細節(jié)

  

• 照片處理

• 步進電機驅(qū)動可實現(xiàn)高精度，再現(xiàn)性為 ±0.3% (FS) 或更小。

• 

• 化學(xué)機械研磨工藝

• 易威木的波紋管泵具有高壓排放能力，可以毫無問題地輸送 CMP 漿料。

• 主要產(chǎn)品提供給半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域

  
  

• 氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

  

  
  

• 氣動波紋管泵FS-H系列

  

  
  

• 氣動波紋管泵FS-N系列

  

  
  

• 自動風(fēng)門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W

  

  
  

• 化學(xué)補給泵CFD

  

  
  

• 光刻膠分配泵PDS-105R

  

  
  

• 電磁計量泵EWN-W系列（水質(zhì)控制用）

  

  
  

• 內(nèi)部液體不可補充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列

  

  
  

• 化學(xué)罐 CT-U (25 – 120L)