多層膜沉積設備VES-10的功能優(yōu)勢

發(fā)布日期：2024-12-12      瀏覽次數(shù)：53

多層膜沉積設備VES-10的功能優(yōu)勢

該設備有兩個獨立的腔室，分別具有碳蒸發(fā)、磁控濺射、親水處理等功能。一臺設備具備VC-300、MSP-1S、PIB-10三種型號的性能。兩個排氣管系統(tǒng)使用外部旋轉(zhuǎn)泵排氣進行切換。
另外，每個腔室都可以獨立抽真空并釋放到大氣中，并且腔室可以保持真空。

碳蒸鍍
TEM、SEM、X射線分析等碳膜生成設備用于防止樹脂嵌入樣品等的充電。

這是用于離子濺射
SEM觀察的貴金屬薄膜鍍膜專用裝置。我們進行貴金屬涂層以防止SEM樣品充電并提高二次電子產(chǎn)生效率。除了使用磁控管靶電極進行低壓放電外，還將樣品臺制成浮動式，以減少電子束流入對樣品造成的損壞。

親水處理
用于透射電鏡網(wǎng)格、火棉膠支撐膜、碳支撐膜等金剛石刀具的親水處理，以及油脂污漬的清洗。
交流放電產(chǎn)生的等離子體離子照射到樣品表面。破壞樣品表面的化學鍵并形成官能團。這促進了活性樣品表面和水分子之間的化學鍵合，使其具有親水性。
它還可以有效破壞油污和脂肪污漬的化學鍵并將其去除。
照射強度（軟/硬）可以切換。

該產(chǎn)品是一套裝置，包括裝置本身、旋轉(zhuǎn)泵和 SUS 軟管。
需要親臨現(xiàn)場講解安裝和操作。



VES-10 消耗品/零件清單






VES-10 的
金靶材
[t=0.1mm]



VES-10 的
Pt 靶材
[t=0.1mm]



VES-10 的
Au-Pd 靶材
[t=0.1mm]
Au60%: Pd40%



VES-10 的
Pt-Pd 靶材
[t=0.1mm]
Pt80%: Pd20%



VES-10 的
銀靶材
[t=0.5mm]



專用碳
SLC-30
1箱（100個）



碳纖維
SLC-30
10 盒套裝



VES-10 玻璃瓶包裝（2 件為 1 套）



VES10 碳涂層側玻璃腔室




VES10 離子涂層側玻璃室




旋轉(zhuǎn)泵油（500ml）
[SMR-100]

如果玻璃室、夾緊彈簧和防塵板等老化或損壞的部件，我們還可以制造它們。
對于任何其他維護/維修查詢，請通過服務查詢與我們聯(lián)系。

濺射金屬粒子的比較



Au：金
觀察面積：數(shù)千至10,000倍
Au-Pd：金鈀
觀察面積：10,000至50,000倍
適合低倍率觀察，對比度良好。



Pt：鉑
觀察面積：10,000～50,000倍
Pt-Pd：鉑鈀
觀察面積：30,000～50,000倍
粒徑細小，常用于高倍率觀察。

該裝置濺射功能的主要目的是在臺式SEM或通用SEM觀察之前進行導電涂層。

*如果您使用能夠高倍觀察的FE-SEM，請考慮使用鎢濺射裝置（MSP-20TK）或鋨鍍膜機（HPC-20）。

*如果您優(yōu)先考慮電極制作等的薄膜質(zhì)量，請考慮可在氬氣氣氛中濺射的MSP-20系列。

碳鍍膜機與高真空蒸發(fā)設備的區(qū)別

碳鍍膜機主要分為僅有旋轉(zhuǎn)泵排氣的設備或配備渦輪泵的高真空蒸發(fā)設備。了解高真空蒸發(fā)設備性能的差異在選擇設備時非常有用。




	旋轉(zhuǎn)泵排氣氣相沉積設備 VES-10、VC-300S/W	高真空抽真空沉積設備 VE-2013、VE-2050 等
真空排氣系統(tǒng)	旋轉(zhuǎn)泵	旋轉(zhuǎn)泵+渦輪分子泵
沉積真空度	1-2（帕）	5×10 -3 (Pa)以下
顆粒感	顆粒細，但膜較粗。	顆粒細密，膜質(zhì)美觀。
膜質(zhì)量	該薄膜粗糙且易碎，因為它在與殘余分子碰撞時積累。	無殘留分子，顆粒呈直線飛行、粘附，膜質(zhì)潔凈、堅固。
環(huán)繞能力	它在與殘余分子碰撞時向多個方向散射，因此具有一些環(huán)繞特性。	顆粒沿直線飛行并粘附，但在陰影區(qū)域不形成薄膜。
使用碳氣相沉積的目的	切片和支撐膜的加固、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護膜等。	切片和支撐膜的強化、元素分析、高倍SEM觀察、FIB保護膜、碳支撐膜的制作、遮蔽法等。















































































*碳鍍膜機是針對特定用途而設計的，其用途有限，但可以降低設備價格。

VES-10 設備規(guī)格




物品	規(guī)格
電源	AC100V（單相100V15A）3P帶地插頭1口
設備尺寸	寬度400mm，深度360mm，底座高度280mm CARBON室高度+185mm ION室高度+101mm （設備重量：29Kg）
旋轉(zhuǎn)泵	抽速 50?/min (GLD-051) 重量 13.9kg 旋轉(zhuǎn)泵油 (SMR-100) 使用量：600-800ml
碳蒸鍍側規(guī)格
樣品室尺寸	內(nèi)徑120mm，高140mm（硬玻璃）
氣相沉積源-樣品臺距離	直徑50mm（浮動法）
電極-樣品臺距離	45mm 至 75mm 可調(diào)
樣品臺尺寸	Φ100mm
可安裝樣品尺寸	Φ98mm，最大樣品高度40mm
氣相沉積電源	排氣、蒸發(fā)。 每個固定電壓進行 2 步切換，預設為最佳電壓
碳源	專用補充型碳SLC-30
電離室側面規(guī)格
樣品室尺寸	內(nèi)徑120mm，高65mm（硬玻璃）
電極-樣品臺距離	固定在35mm
樣品臺尺寸	Φ50mm（浮動法）
濺射靶電極	內(nèi)置永磁體的磁控管式靶電極
目標金屬規(guī)格	Φ51mm，厚度0.1mm Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag（t0.5mm）
濺射電源	DC500V、0~50mA（可變電阻調(diào)節(jié)）
親水處理用電極	Φ50mm，不銹鋼靶材
親水處理電源	SOFT: 450V, 10~20mA HARD: 550V, 20~30mA (可任意切換)