半導(dǎo)體晶圓的加工用高亮度鹵素光源裝置-YP-150I/YP-250I
高亮度鹵素光源設(shè)備是 一種宏觀觀察照明設(shè)備,用于檢測各種缺陷,
例如異物,劃痕,拋光不均勻,霧度和終成品表面上的打滑,這在半導(dǎo)體晶圓的加工過程中是費力的工作和液晶基板.
1.樣品表面的照明度可達(dá)到400,000 Lx以上。
2.由于使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,因此色溫高,幾乎沒有不均勻的照明,并且照明
非常穩(wěn)定且清晰。
3.通過使用冷鏡,可以將熱量的影響極大地
降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。
4.兩階段切換機(jī)制使您可以通過一次觸摸在高光觀察和低光觀察之間進(jìn)行切換
。
YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
?照度范圍φ60
?。╕P-250I可以從螺旋槳式風(fēng)扇和風(fēng)管式風(fēng)扇中選擇)。
標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成如下。
照度:照射距離 310mm、照射直徑徑 55mmφ時照度在 400,000 Lux以上)
光源:直流點燈 17V/185W 鹵素?zé)?/p>
照度調(diào)整:連續(xù)可調(diào)至照度的 20%
冷卻方式:強制空冷
使用溫度范囲:0~40℃
電源電圧:AC 95V~AC 260V,50/60Hz
功率:250W
尺寸:光源 136mm H×112mm W×150mm D
電源 229mm H×90mm W×250mm D
重量:光源2.3kg
電源3.6kg
立桿5.0kg
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