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日本電鍍?nèi)芤簯?yīng)變片式精密應(yīng)力儀B-72WJ-SG介紹
通過使用傳感器測量基板的應(yīng)變，可以實(shí)時測量鍍層的內(nèi)部應(yīng)力。
一次測量可以測量每個電鍍時間（膜厚）的應(yīng)力。您也可以在重新鍍膜一次后的膜上測量應(yīng)力。可以測量微小的應(yīng)力，這是常規(guī)應(yīng)力計無法實(shí)現(xiàn)的。將的壓力計板插入精密電鍍電源YPP系列的插槽中以供使用。
●符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
●即使在弱壓力下也可以進(jìn)行測量。適用于測量薄弱的產(chǎn)品，例如薄膜和晶圓。（從0.5μm或更大的膜厚可以進(jìn)行精確測量）
●也可以測量其他方法無法測量的初始應(yīng)力。
●適用于精細(xì)零件。
●傳感器獲取的數(shù)據(jù)會立即輸入到連接電源的PC上，并且PC會自動計算應(yīng)力值，而無需進(jìn)行任何計算。另外，使用個人計算機(jī)實(shí)時顯示和累積被測數(shù)據(jù)。
| 輸入電壓 | AC100-200V±10％（50 / 60Hz±5％） |
| 輸出電壓/輸出電流 | DC0?15V / 0?10A |
| z低分辨率 | 1mA / 10mV / 0.1mC的 |
| 溫度控制功能 | 1KW（開/關(guān)控制/ PID控制） |
| 體重 | 8.8公斤 |
| 支持的操作系統(tǒng) | 與Windows 8和10兼容 |
| 產(chǎn)品編號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 |
| B-72-SG-P01W | 應(yīng)變片式精密應(yīng)力計水箱（MODEL-w） | 1片 |
| B-72-SG-P02 | 應(yīng)變片式精密應(yīng)力計的夾具（陽極背面） | 1套 |
| B-72-SG-P03-1 | 5個試片（銅），用于應(yīng)變片式精密應(yīng)力計 | 1套 |
| B-72-SG-P04 | 應(yīng)變片式精密應(yīng)力計試件用絕緣管 | 1個 |
| B-50-KTSG121513 | 不銹鋼G型塞（寬度12毫米x 15φ13） | 1片 |
| B-72-SG-P06 | 用于應(yīng)變儀式精密應(yīng)力計的陽極板組 （含磷銅，鎳，SK鎳，高純錫（三菱電解錫）中的一種） | 1套 |
| B-58WJA | WJA型，帶加熱器溫度保險絲，用于Halcel（AC100V，100W） | 一 |
| B-72-SG-P07 | 應(yīng)變片式精密應(yīng)力計用空氣管 | 1個 |
| B-57A | Halcel的氣泵A（AC100V） | 1片 |
| B-62A | 攪拌器（帶固定底座）（與微桶，智能船體艙，智能艙兼容） | 1套 |
| B-93-YTC-P04 | YTC，YPP溫度傳感器（短型）總長190mm | 1個 |
| B-93-YTC-P02 | 溫度控制器YTC塞子的溫度傳感器（L型） | 1片 |
| A-52-P18 | 空氣過濾器 | 1片 |
| A-57-15100-1B | 應(yīng)變片式精密應(yīng)力計板 | 1個 |
| A-57-15100WA-J | 晶圓YPP15100WA-J的精密電鍍電源（1mA-10A） | 一 |
| A-57-15031WA-J | 超精密電鍍電源YPP15031WA-J（10μA-3A） |
