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更新日期:2024-03-19
簡要描述:
日本advance交流光學(xué)法熱擴(kuò)散率測量儀LaserPIT該裝置是通過掃描激光加熱AC法用于諸如薄膜,薄板和薄膜的薄板材料的面內(nèi)熱擴(kuò)散率測量裝置。在高導(dǎo)熱膜的情況下,也可以測量亞微米薄膜。
日本advance交流光學(xué)法熱擴(kuò)散率測量儀LaserPIT
該裝置是通過掃描激光加熱AC法用于諸如薄膜,薄板和薄膜的薄板材料的面內(nèi)熱擴(kuò)散率測量裝置。
在高導(dǎo)熱膜的情況下,也可以測量亞微米薄膜。
日本advance交流光學(xué)法熱擴(kuò)散率測量儀LaserPIT
模型 | 激光PIT-R | 激光PIT-M2 |
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溫度范圍 | 逆時(shí)針 | 室溫?200℃ |
交流電 | 激光二極管(685nm,30mW) | |
樣品尺寸 | 自支撐薄板:寬度2.5至5毫米x長度30毫米x厚度3至500μm 基板上的薄膜:寬度2.5至5毫米x長度30毫米x厚度100納米至1000納米 | |
測量周期 | 0.05?10 /秒 | |
測量氣氛 | 在真空中 |
LaserPIT使用玻璃基板來測量薄膜的熱導(dǎo)率。通過僅在一個(gè)玻璃基板的一半表面上形成薄膜的方法來測量玻璃基板的膜形成區(qū)域和非沉積區(qū)域。根據(jù)“兩個(gè)區(qū)域的測量結(jié)果”,“玻璃基板的厚度和體積比熱容”以及“薄膜厚度和體積比熱容”來評價(jià)薄膜的導(dǎo)熱率。